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OYS-1200C-II-60-PECVD系统炉是一款中型滑动开启式PECVD系统。此款成套设备配有等离子射频电源,三路质量流量混气系统(量程为1-100SCC...
CVD系统管式炉是一种重要的材料制备设备,广泛应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之中。它主要用于在固态基材上沉积一层薄膜,其组成部分包括高温真...
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